고객 사례
당사는 경도, 내마모성, 고온 저항성 등에 대한 다양한 산업의 특수 요구 사항을 충족하기 위해 광범위한 고성능 세라믹 소재와 맞춤형 가공 부품을 제공합니다.
웨이퍼 취급 손가락
제품 특징 - 반도체 장비용 세라믹 로봇 팔 웨이퍼 핸들링 핑거 세라믹 로봇 핑거, 웨이퍼 캐리어 또는 세라믹 핸들링 암이라고도 하는 세라믹 기계식 암은 주로 웨이퍼를 운반하고 이송하는 반도체 장비에 사용됩니다. 이들은 반도체 장비 로봇의 '손' 역할을 하며 원형 실리콘 웨이퍼를 [...]로 정밀하게 이동하는 역할을 담당합니다.
사례 개요
제품 특징 - 반도체 장비용 세라믹 로봇 팔
웨이퍼 취급 손가락
세라믹 로봇 핑거, 웨이퍼 캐리어 또는 세라믹 핸들링 암이라고도 하는 세라믹 기계식 암은 주로 반도체 장비에서 웨이퍼를 운반하고 이송하는 데 사용됩니다. 반도체 장비 로봇의 '손' 역할을 하며 원형의 실리콘 웨이퍼를 지정된 위치로 정밀하게 이동하는 역할을 합니다.
제품 특징
- 높은 제품 정밀도
- 뛰어난 기밀성
- 우수한 고온 내성
- 제어 가능한 표면 저항률
- 산, 알칼리, 부식에 대한 강한 내성으로 극한의 환경에도 적합합니다.
자체 밀봉 테스트: 진공 공기 공급원을 끄고 -85kPa ~ -80kPa의 음압을 60초 이상 유지합니다.
웨이퍼 흡착 테스트: 진공 공기 공급원을 끄고 -80kPa ~ -25kPa의 음압을 35초 이상 유지합니다.
- 높은 차원 정밀도: 첨단 반도체 공정에 필수적인 정확한 웨이퍼 취급 및 위치 지정을 보장합니다.
- 탁월한 기밀성: 웨이퍼 이송 중 안정적인 진공 상태를 유지하여 오염 위험을 최소화합니다.
- 뛰어난 고온 내구성: 변형이나 성능 저하 없이 고온의 공정 환경에 적합합니다.
- 제어 가능한 표면 저항률: 엔지니어링된 저항으로 정전기를 제어하고 전하 축적을 방지하여 민감한 웨이퍼를 보호합니다.
- 뛰어난 내화학성: 강산, 알칼리 및 부식성 공정 가스에 대한 내성이 뛰어나 열악한 반도체 제조 환경에 이상적입니다.
성능 검증 테스트
▲ 자체 밀봉 테스트: 진공 소스가 꺼진 상태에서 암은 다음과 같은 음압을 유지합니다. 60초 이상 -85kPa ~ -80kPa.
▲ 웨이퍼 홀딩 테스트: 진공 소스가 꺼진 상태에서 다음과 같은 음압을 유지합니다. 35초 이상 -80kPa ~ -25kPa를 사용하여 안정적인 웨이퍼 보존을 보장합니다.
주요 성능 사양
| 매개변수 | 단위 | 실리콘 카바이드(SiC) | 알루미늄 산화물(Al₂O₃) |
|---|---|---|---|
| 표면 저항률 | Ω | 1 × 10⁵ | 1 × 10¹⁴ |
| Max. 작동 온도(분할 암) | °C | 350 | 350 |
| Max. 작동 온도(통합 암) | °C | 800 | 800 |
| 흡착 표면 거칠기(Ra) | μm | 0.01 | 0.01 |
| 흡착 표면 평탄도 | mm | 0.01 | 0.01 |
참고: 모든 값은 표준 클린룸 및 프로세스 조건에서 일반적인 성능을 반영합니다.
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