客户案例
我们提供全系列的高性能陶瓷材料和定制加工部件，以满足不同行业对硬度、耐磨性、耐高温性等的特殊要求。
多孔吸盘 半导体设备 - 陶瓷真空吸盘
半导体设备 - 陶瓷真空吸盘 陶瓷真空吸盘是一种由多孔陶瓷材料制成的特殊真空垫，具有孔隙率高、强度高和表面平整度好的特点。它们广泛应用于半导体晶片加工，如切片、研磨、抛光和检测。产品特点 ▲ 表面平整度可达 0.002 mm；平行度 [...]
案例概述
Semiconductor Equipment – Ceramic Vacuum Chuck
Ceramic vacuum chucks are a special type of vacuum pad made from porous ceramic materials, featuring high porosity, high strength, and excellent surface flatness. They are widely used in semiconductor wafer processes such as slicing, grinding, polishing, and inspection.
产品特点
- High precision
- 出色的气密性
- Uniform suction force
- Wear-resistant and corrosion-resistant
▲ Surface flatness can reach 0.002 mm; parallelism can reach 0.003 mm
表格
| 材料 | Pore Size (μm) | Porosity | Pressure Differential (bar) | 电阻率 | 颜色 |
|---|---|---|---|---|---|
| Aluminum Oxide | 5–50 | 15–45% | 35 | 1×10¹¹ Ω·cm | Dark gray / Earth yellow |
| 碳化硅 | 10–50 | 15–45% | 30 | 1×10⁸ Ω·cm | 黑色 |
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