Halbleiter-Keramik-Produktkoffer
Entdecken Sie unsere anderen keramischen Hochleistungsprodukte, die für die Halbleiterindustrie entwickelt wurden, um die Anforderungen verschiedener Anwendungsszenarien zu erfüllen
Aluminum Nitride (AlN) Ceramic Precision Structural Components | High-Thermal-Conductivity Insulating Parts for Electronic & Semiconductor Equipment (Precision Equipment Industry)
This series of high-purity aluminum nitride (AlN) ceramic structural components...
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Alumina Ceramic Microporous Vacuum Chuck | Semiconductor Wafer & Chip Handling Component | Semiconductor Industry
This high-performance alumina ceramic microporous vacuum chuck is engineered for...
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Alumina Ceramic Wafer Chuck & Handling Arm | Precision Semiconductor Manufacturing Component | Semiconductor Industry
This high-precision alumina ceramic wafer chuck and handling arm is...
Mehr erfahrenHintergrund und Herausforderungen des Falles
Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Halbleiterfertigungsverfahren werden die Anforderungen an Präzision, Stabilität und Zuverlässigkeit der Produktionsanlagen immer höher. Unser Kunde ist ein weltweit führender Hersteller von Halbleiterausrüstungen, der mit einer Reihe von Problemen konfrontiert ist, die durch die Verwendung herkömmlicher Metallkomponenten in extremen Umgebungen (hohe Temperaturen, hohe Korrosion, hohe Präzision) verursacht werden.
Halbleitergeräte stellen sehr strenge Anforderungen an Wafer. Nur nahezu perfekte Wafer können elektrisch und mechanisch schädliche Defekte in den Geräten vermeiden, so dass die Wafer mehrere Schritte wie Formgebung, Schneiden, Schleifen und Reinigung durchlaufen müssen. Bei diesen Prozessen benötigen die Wafer einen Arbeitstisch zur Platzierung und Fixierung. Keramische Vakuumchucks, bei denen es sich um Keramiken mit einer großen Anzahl miteinander verbundener oder geschlossener einheitlicher fester oder durch Hochtemperatursintern erzeugter Strukturen handelt, werden zur Fixierung von Werkstücken wie Halbleiterwafern und Glassubstraten durch Vakuumansaugung verwendet.
- Unzureichende thermische Stabilität in Hochtemperaturumgebungen führt zu einer geringeren Präzision der Geräte
- Chemische Korrosion führt zu einer kurzen Lebensdauer der Komponenten und erhöht die Wartungskosten und Ausfallzeiten
- Verunreinigung durch Metallpartikel beeinträchtigt Halbleiterausbeute
- Anforderungen an die Bauteilpräzision erreichen Submikron-Niveau
Wafer-Handling-Finger
Produktmerkmale/PRODUKTEIGENSCHAFTEN
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Hohe Luftdichtheit
Hohe Luftdichtheit
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Korrosions-, verschleiß- und hochtemperaturbeständig
Widerstandsfähig gegen Korrosion, Verschleiß und hohe Temperaturen
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Isolierung/Antistatik
Isolierung/Antistatik
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Hohe Präzision bei der Bearbeitung
Hohe Bearbeitungspräzision
Maßgeschneiderte keramische Lösungen
Basierend auf den Bedürfnissen unserer Kunden haben wir eine Reihe von hochpräzisen keramischen Komponenten entwickelt, bei denen fortschrittliche Materialrezepturen und Präzisionsverarbeitungstechniken zum Einsatz kommen, um ideale Lösungen für die Halbleiterherstellung zu bieten.
Hochtemperatur-Keramik-Wafer-Träger
Durch die Verwendung von keramischem Material auf Siliziumnitridbasis bleiben die Abmessungen auch in Hochtemperaturumgebungen von 1200 °C stabil, und der Wärmeausdehnungskoeffizient ist extrem niedrig, was eine Verformung der Wafer verhindert und die Ausbeute verbessert.
Korrosionsbeständige keramische Komponenten für die Reaktionskammer
Durch die Verwendung von hochreinem Aluminiumoxid und Zirkoniumdioxid-Verbundwerkstoffen verfügt es über eine ausgezeichnete chemische Inertheit, widersteht effektiv der Plasmakorrosion und verlängert die Lebensdauer um mehr als das Dreifache.
Hochpräzise keramische Positionierungskomponenten
Durch Präzisionsschleif- und -polierverfahren werden eine Maßgenauigkeit von ±0,5 μm und eine Oberflächenrauhigkeit von Ra<10nm erreicht, was den Positionierungsanforderungen fortschrittlicher Prozesse entspricht.
Halbleiterherstellungsprozess und keramische Anwendungen
Wir bieten professionelle keramische Lösungen für wichtige Prozessverbindungen in der Halbleiterherstellung und gewährleisten die Stabilität und Zuverlässigkeit jedes Prozesses.
| Herstellungsprozess | Ausrüstung mit keramischen Produkten | Komponenten aus hochentwickelten keramischen Materialien | Wichtigste Materialtypen |
|---|---|---|---|
| Lithographie | Lithographie-Maschine | Keramischer Arbeitstisch, Führungsschiene, Spiegel, Keramikspannfutter, Arm, wassergekühlte Platte, Spannfutter | Aluminiumoxid, Siliziumnitrid, Siliziumkarbid |
| Ätzen | Ätzmaschine | Ringzylindertyp, Gasführungstyp, tragfähiger fester Typ, Greiferdichtungstyp, Führungsschiene, Modul | Zirkoniumdioxid, Aluminiumoxid, Siliziumkarbid |
| Dünnschichtabscheidung | PVD-, CVD- und ALD-Anlagen | Ringzylindertyp, Gasführungstyp, tragfähiger fester Typ, Greiferdichtungstyp, Modul | Zirkoniumdioxid, Aluminiumoxid, Siliziumkarbid |
| Ionen-Implantation | Ionenimplantationsgeräte | Ringzylinder-Typ, lasttragend, feststehend, mit Greiferdichtung | Zirkoniumdioxid, Aluminiumoxid, Siliziumkarbid |
| Beschichtung und Entwicklung | Lithographiemaschinen, Beschichtungs- und Entwicklungsanlagen | Tragfähiger fester Typ, Typ mit Greiferdichtung | Tonerde, Siliziumkarbid |
| Oxidation/Diffusion, Glühen, Legieren, usw. | Oxidations- und Diffusionsgeräte | Tragfähiger fester Typ, Typ mit Greiferdichtung, Modul | Tonerde |
Anwendungen für keramische Komponenten in Schlüsselgeräten
Lithographie-Maschine
Keramische Kernkomponenten: Präzisions-Positionier-Arbeitstisch, Spiegelsystem, Vakuum-Spannvorrichtung, die eine extrem hohe Ebenheit und thermische Stabilität erfordern.
Ätzmaschine
Keramische Kernkomponenten: Innenwand der Reaktionskammer, Gasverteiler, Elektrodensockel, die eine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit und Hochtemperaturstabilität erfordern.
Ausrüstung für die Dünnschichtabscheidung
Keramische Kernkomponenten: Tiegel, Verdampfungsquelle, Gasdüse, die eine hohe Reinheit, geringe Flüchtigkeit und eine ausgezeichnete Stabilität im thermischen Zyklus erfordern.
Strenger Prozess der Projektdurchführung
Von der Anforderungsanalyse bis zur endgültigen Lieferung folgen wir einem strengen Qualitätsmanagementsystem, um sicherzustellen, dass jedes keramische Bauteil den hohen Anforderungen des Kunden entspricht.
Anforderungsanalyse und Materialauswahl
Unser Ingenieurteam steht in engem Kontakt mit den Kunden, analysiert die Einsatzumgebung und die technischen Anforderungen, wählt die am besten geeignete Kombination von keramischen Werkstoffen aus und führt erste Leistungsbewertungen und Simulationstests durch.
Entwurf und Herstellung von Präzisionsformen
Auf der Grundlage von 3D-Modellierung und Finite-Elemente-Analyse entwerfen wir hochpräzise Formen und verwenden CNC-Bearbeitungstechnologie, um die Präzision der Formen zu gewährleisten und die Grundlage für nachfolgende Umformprozesse zu schaffen.
Formgebungs- und Sinterungsprozess
Wir verwenden die Technologie des isostatischen Pressens, um eine gleichmäßige Grünkörperdichte zu gewährleisten, und führen das Hochtemperatursintern in einem Ofen mit streng kontrollierter Atmosphäre durch, um sicherzustellen, dass das Material eine optimale Leistung erreicht.
Präzisionsbearbeitung und Oberflächenbehandlung
Durch den Einsatz fortschrittlicher CNC-Bearbeitungszentren und Ultrapräzisionsschleifmaschinen in Kombination mit firmeneigenen Verfahren erreichen wir eine Submikrometer-Präzisionsbearbeitung, um sicherzustellen, dass die Oberflächenqualität den Anforderungen entspricht.
Strenge Qualitätskontrolle
Wir führen umfassende Prüfungen mit modernen Geräten wie Koordinatenmessmaschinen, Laserinterferometern und Rasterelektronenmikroskopen durch, um sicherzustellen, dass jedes Bauteil den technischen Spezifikationen entspricht.
Projektergebnisse und Kundennutzen
Kunden-Feedback
Die hochpräzisen Keramikkomponenten von XYC Ceramics haben die Probleme mit Materialkorrosion und Präzisionsinstabilität, mit denen wir bei der Halbleiterherstellung konfrontiert waren, vollständig gelöst. Die Häufigkeit der Anlagenwartung wurde erheblich reduziert, und sowohl die Produktionseffizienz als auch die Produktausbeute wurden stark verbessert. Wir sind tief beeindruckt von der professionellen technischen Unterstützung und den maßgeschneiderten Dienstleistungen.
Ingenieur Zhang
F&E-Direktor | Ein Halbleiterausrüstungshersteller
Halbleiter-spezifische keramische Kernprodukte
Wir liefern hochpräzise, leistungsstarke keramische Kernkomponenten für die Halbleiterherstellung, um die Stabilität und Zuverlässigkeit des Produktionsprozesses zu gewährleisten
Keramik-Vakuum-Spannvorrichtung
Die keramische Vakuumspannvorrichtung ist eine spezielle Vakuumspannvorrichtung aus porösem keramischem Material mit hoher Porosität, hoher Festigkeit, hoher Ebenheit und anderen Eigenschaften, die weithin beim Schneiden, Schleifen, Prüfen und anderen Prozessen von Halbleiterwafern verwendet wird.
Zentrale Leistungsmerkmale：
- Selbstversiegelungstest：Abschalten der Vakuumquelle, Unterdruck von -85Kpa bis -80Kpa, Dauer bis zu 60s oder mehr
- Adsorptionstest für Wafer：Abschalten der Vakuumquelle, Unterdruck von -80Kpa bis -25Kpa, Dauer bis zu 35s oder mehr
- Hohe Präzision：Ausgezeichnete Ebenheit und Parallelität, die die Anforderungen an die Positionierung im Submikrometerbereich erfüllen
- Gute Luftdichtheit：Gleichmäßige Porenverteilung, die einen stabilen Vakuumadsorptionseffekt gewährleistet
- Gute Hochtemperaturbeständigkeit：Kann in Umgebungen mit hohen Temperaturen stabil arbeiten, keine Verformung, keine Alterung
- Kontrollierbarer Oberflächenwiderstand：Verhindert wirksam statische Aufladung, schützt empfindliche Waferoberflächen
Halbleiterausrüstung Keramische Komponenten
Die von dem Unternehmen in Halbleiteranlagen verwendeten Komponenten aus hochentwickelten keramischen Werkstoffen werden hauptsächlich im Inneren der Kammer eingesetzt, und einige von ihnen stehen in direktem Kontakt mit Wafern, die wichtige Präzisionskomponenten bei der Herstellung integrierter Schaltkreise sind.
Anwendungsmerkmale：
- Hochreine Materialien, keine Verunreinigung durch Metallionen, Gewährleistung einer sauberen Umgebung für die Waferherstellung
- Ausgezeichnete chemische Korrosionsbeständigkeit, beständig gegen verschiedene Prozessgase und Plasmaerosion
- Extrem niedrige Partikelabgaberate, erfüllt die Anforderungen an eine ultrareine Raumumgebung
- Präzise Maßkontrolle, Erfüllung von Submikron-Montagetoleranzanforderungen
Keramik-Roboterarm
Sie werden für den Transport von Wafern und LEDs während des gesamten Produktionsprozesses verwendet und verhindern effektiv Kratzer auf den Wafern und Oberflächenverunreinigungen. Keramik-Roboterarme werden aus hochentwickelten keramischen Materialien hergestellt, die sich durch hervorragende Steifigkeit, geringes Gewicht und chemische Stabilität auszeichnen.
Wichtige Vorteile：
Fortschrittliche Präzisionsfertigung
XYC hat über 20 Jahre Erfahrung in der Präzisionsbearbeitung!
Wir sind mit einer großen Anzahl von Bearbeitungsmaschinen ausgestattet, die verschiedene hochpräzise Bearbeitungsmaschinen aus dem In- und Ausland umfassen und die Bearbeitung von verschiedenen komplexen Werkstücken ermöglichen.
Vorbereitung des Rohmaterials
ROHMATERIALAUFBEREITUNG
XYC verfügt über eine eigene Produktionslinie für Materialforschung und -entwicklung und kann die Produktion und das Sintern nach verschiedenen Materialien und Größen durchführen!
XYC verfügt über eine eigene Produktionslinie für Materialforschung und -entwicklung und kann die Produktion und das Sintern nach verschiedenen Materialien und Größen durchführen!
Präzisionsinspektion
PRÄZISIONSPRÜFUNG
XYC verfügt über IQC-, IPQC- und OQC-Abteilungen und besitzt mehrere importierte, hochpräzise Prüfgeräte, die verschiedene Industriestandard-Prüfanforderungen erfüllen können, wie z.B. Zeiss-Koordinatenmessgeräte, CCD, SEM, etc.
XYC Vorteile
F&E Stärke
Das Unternehmen verfügt über ein Forschungs- und Entwicklungsteam mit mehr als 30 Fachleuten und Technikern, das von bekannten Professoren und Doktoren der keramischen Industrie geleitet wird, und erhält außerdem starke Unterstützung bei Forschung und Entwicklung durch Forschungsinstitute und Kooperationen zwischen Universitäten und Unternehmen.
Pulverförmige Formel
Mit einer Vielzahl von Materialdoktoren und reichhaltiger Erfahrung mit Anwendungsfällen können wir Formeln nach Kundenwunsch entwickeln, um die Anforderungen unserer Kunden zu erfüllen.
Formgebung und Sinterung
Wir verfügen über verschiedene Umform- und Sinteranlagen, die je nach Materialanforderungen entsprechende Umformungen und Sinterungen vornehmen können.
Präzision Verarbeitung Stärke
Mit mehr als 20 Jahren Erfahrung in der Präzisionsverarbeitung verfügen wir über eine komplette Verarbeitungsausrüstung für jeden Prozess und können Lösungen entsprechend den Kundenanforderungen in allen Einzelheiten anpassen.
Hohe Qualitätssicherung
Das Unternehmen verfügt über IQC-, IPQC- und OQC-Abteilungen und besitzt mehrere hochpräzise Prüfgeräte zur strengen Qualitätskontrolle, die die verschiedenen Prüfanforderungen der Industrie erfüllen können.
Vollständige industrielle Kette
Das Unternehmen verfügt über eine vollständig geschlossene industrielle Kette, von der Rezeptur über die Formgebung, das Sintern und die Präzisionsfertigung bis hin zur hochreinen kalten Oberflächenbehandlung und der Lösungsprüfung, die alle von unserem Unternehmen durchgeführt werden.
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Welchen Herausforderungen Sie auch immer gegenüberstehen, wir können Ihnen maßgeschneiderte keramische Lösungen anbieten. Kontaktieren Sie uns sofort, um eine Zusammenarbeit zu beginnen!
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