반도체 장비 - 세라믹 진공 척
세라믹 진공 척은 다공성 세라믹 소재로 만든 특수한 유형의 진공 패드로, 높은 다공성, 높은 강도, 뛰어난 표면 평탄도가 특징입니다. 슬라이스, 연마, 연마, 검사 등 반도체 웨이퍼 공정에 널리 사용됩니다.
제품 특징
- 높은 정밀도
- 뛰어난 기밀성
- 균일한 흡입력
- 내마모성 및 부식 방지
표면 평탄도는 0.002mm, 평행도는 0.003mm에 달할 수 있습니다.
表格
| 재료 | 기공 크기(μm) | 다공성 | 압력 차동(바) | 저항률 | 색상 |
|---|---|---|---|---|---|
| 알루미늄 산화물 | 5-50 | 15-45% | 35 | 1×10¹¹ Ω-cm | 다크 그레이/어스 옐로우 |
| 실리콘 카바이드 | 10-50 | 15-45% | 30 | 1×10⁸ Ω-cm | 블랙 |
제품 특징 - 반도체 장비용 세라믹 로봇 팔
웨이퍼 취급 손가락
세라믹 로봇 핑거, 웨이퍼 캐리어 또는 세라믹 핸들링 암이라고도 하는 세라믹 기계식 암은 주로 반도체 장비에서 웨이퍼를 운반하고 이송하는 데 사용됩니다. 반도체 장비 로봇의 '손' 역할을 하며 원형의 실리콘 웨이퍼를 지정된 위치로 정밀하게 이동하는 역할을 합니다.
제품 특징
- 높은 제품 정밀도
- 뛰어난 기밀성
- 우수한 고온 내성
- 제어 가능한 표면 저항률
- 산, 알칼리, 부식에 대한 강한 내성으로 극한의 환경에도 적합합니다.
자체 밀봉 테스트: 진공 공기 공급원을 끄고 -85kPa ~ -80kPa의 음압을 60초 이상 유지합니다.
웨이퍼 흡착 테스트: 진공 공기 공급원을 끄고 -80kPa ~ -25kPa의 음압을 35초 이상 유지합니다.
- 높은 차원 정밀도: 첨단 반도체 공정에 필수적인 정확한 웨이퍼 취급 및 위치 지정을 보장합니다.
- 탁월한 기밀성: 웨이퍼 이송 중 안정적인 진공 상태를 유지하여 오염 위험을 최소화합니다.
- 뛰어난 고온 내구성: 변형이나 성능 저하 없이 고온의 공정 환경에 적합합니다.
- 제어 가능한 표면 저항률: 엔지니어링된 저항으로 정전기를 제어하고 전하 축적을 방지하여 민감한 웨이퍼를 보호합니다.
- 뛰어난 내화학성: 강산, 알칼리 및 부식성 공정 가스에 대한 내성이 뛰어나 열악한 반도체 제조 환경에 이상적입니다.
성능 검증 테스트
▲ 자체 밀봉 테스트: 진공 소스가 꺼진 상태에서 암은 다음과 같은 음압을 유지합니다. 60초 이상 -85kPa ~ -80kPa.
▲ 웨이퍼 홀딩 테스트: 진공 소스가 꺼진 상태에서 다음과 같은 음압을 유지합니다. 35초 이상 -80kPa ~ -25kPa를 사용하여 안정적인 웨이퍼 보존을 보장합니다.
주요 성능 사양
| 매개변수 | 단위 | 실리콘 카바이드(SiC) | 알루미늄 산화물(Al₂O₃) |
|---|---|---|---|
| 표면 저항률 | Ω | 1 × 10⁵ | 1 × 10¹⁴ |
| Max. 작동 온도(분할 암) | °C | 350 | 350 |
| Max. 작동 온도(통합 암) | °C | 800 | 800 |
| 흡착 표면 거칠기(Ra) | μm | 0.01 | 0.01 |
| 흡착 표면 평탄도 | mm | 0.01 | 0.01 |
참고: 모든 값은 표준 클린룸 및 프로세스 조건에서 일반적인 성능을 반영합니다.
English 
German 
Korean 
