반도체 장비 - 세라믹 진공 척

세라믹 진공 척은 다공성 세라믹 소재로 만든 특수한 유형의 진공 패드로, 높은 다공성, 높은 강도, 뛰어난 표면 평탄도가 특징입니다. 슬라이스, 연마, 연마, 검사 등 반도체 웨이퍼 공정에 널리 사용됩니다.

제품 특징

1. 높은 정밀도
2. 뛰어난 기밀성
3. 균일한 흡입력
4. 내마모성 및 부식 방지

표면 평탄도는 0.002mm, 평행도는 0.003mm에 달할 수 있습니다.

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