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당사는 경도, 내마모성, 고온 저항성 등에 대한 다양한 산업의 특수 요구 사항을 충족하기 위해 광범위한 고성능 세라믹 소재와 맞춤형 가공 부품을 제공합니다.
다공성 흡입 컵 반도체 장비 - 세라믹 진공 척
반도체 장비 - 세라믹 진공 척 세라믹 진공 척은 다공성 세라믹 소재로 만든 특수한 유형의 진공 패드로, 높은 다공성, 고강도, 뛰어난 표면 평탄도가 특징입니다. 슬라이스, 연마, 연마, 검사 등 반도체 웨이퍼 공정에 널리 사용됩니다. 제품 특징 ▲ 표면 평탄도가 0.002mm에 달함 ▲ 평행도 [...]
사례 개요
반도체 장비 - 세라믹 진공 척
세라믹 진공 척은 다공성 세라믹 소재로 만든 특수한 유형의 진공 패드로, 높은 다공성, 높은 강도, 뛰어난 표면 평탄도가 특징입니다. 슬라이스, 연마, 연마, 검사 등 반도체 웨이퍼 공정에 널리 사용됩니다.
제품 특징
- 높은 정밀도
- 뛰어난 기밀성
- 균일한 흡입력
- 내마모성 및 부식 방지
표면 평탄도는 0.002mm, 평행도는 0.003mm에 달할 수 있습니다.
表格
| 재료 | 기공 크기(μm) | 다공성 | 압력 차동(바) | 저항률 | 색상 |
|---|---|---|---|---|---|
| 알루미늄 산화물 | 5-50 | 15-45% | 35 | 1×10¹¹ Ω-cm | 다크 그레이/어스 옐로우 |
| 실리콘 카바이드 | 10-50 | 15-45% | 30 | 1×10⁸ Ω-cm | 블랙 |
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